SEMI103 Hybrid Integration Techniques for Flexible Electronics StdTpc-Automated Material Handling Systems 半導体産業では装置（半導体製造装置）が多様かつ複雑になっているため，設備（工場ユーティリティ設備）を設計し，装置を設置する人たちにとって重要な問題が生まれてきている。本ガイドにより，設備を準備し，半導体製造装置を効率的に設置するために必要な情報を装置サプライヤ及び半導体製造業者が標準的な方法で交換しあうことによって，両者の利益につながるはずである。

半導体産業では装置（半導体製造装置）が多様かつ複雑になっているため，設備（工場ユーティリティ設備）を設計し，装置を設置する人たちにとって重要な問題が生まれてきている。本ガイドにより，設備を準備し，半導体製造装置を効率的に設置するために必要な情報を装置サプライヤ及び半導体製造業者が標準的な方法で交換しあうことによって，両者の利益につながるはずである。

by defining the experimental method and explaining the analysis

This only includes equipment that handles reticles both in and outside of a reticle pod

PVD and Plating)

SEMI103 Hybrid Integration Techniques for Flexible Electronics StdTpc-Automated Material Handling Systems 半導体産業では装置（半導体製造装置）が多様かつ複雑になっているため，設備（工場ユーティリティ設備）を設計し，装置を設置する人たちにとって重要な問題が生まれてきている。本ガイドにより，設備を準備し，半導体製造装置を効率的に設置するために必要な情報を装置サプライヤ及び半導体製造業者が標準的な方法で交換しあうことによって，両者の利益につながるはずである。TCourse Description This course describes techniques practiced at Palo Alto Research Center for fabricating flexible hybrid electronics. Topics include printing interconnects, logic circuits and resistors, bonding integrated circuits, and integrating sensors of different types. The techniques are illustrated with various examples of wireless sensor prototypes on flexible substrates and also the development of electronics on textiles. Course Objectives